胜华伟业真空技术

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二维平移台  XY stage

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产品概述 Product   Overview

二维平移台坚固耐用,允许在任意方向安装,兼容超高真空,并可提供精确运动。二维平移台包括两个平行法兰,一端固定,另一端提供移动,通过调整移动法兰相对于固定安装法兰的位置进行定位,移动法兰的运动通过微分头控制。焊接波纹管允许法兰适应所需运动,同时确保全金属密封真空。


规格说明 Specification

工作气压:10-11 mbar~1 bar
手动驱动
● 最高烘烤温度:150°C
采用SS316材料焊接的波纹管
微分头精度:10μm
两端安装法兰:CF35,螺纹孔


法兰尺寸  XY行程  A  B  C
D
E  重量(Kg)  型号 
毫米  英寸  毫米
70  2.75  ±7  229  271  38  93  67  4.3  XY35 



产品尺寸 Dimension Drawing

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